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高精密平坦化研磨抛光技术
ES32B/36B单面抛光机
所属分类： 单面研磨/抛光机
设备参数
单面研磨/抛光机
名 称
ES32B/36B单面抛光机
机械尺寸
长1484㎜×宽1250㎜×高2054㎜
机械重量
2600KG
参数表
设备参数
| 32B | 36B | |||
定盘直径 | 812.8 | 定盘直径 | 914 | |
| 压力板直径 | 304.8 | 压力板直径 | 360 | |
| 机器尺寸 | 1484 x 1250 x 2054 | 机器尺寸 | 1484x 1250 x 2054 | |
| 机器重量 | 2300KG | 机器重量 | 2600KG | |
| 电源 | 380V/50Hz | 电源 | 380V/50Hz | |
| 马达功率 | 7.5KW | 马达功率 | 7.5KW | |
| 定盘回转数 | 0-87RPM/Min | 定盘回转数 | 0-87RPM/Min | |
其他参数
机器重量 | 32B 2300KG ●36B 2600KG | 驱动电机 | ●0.2KWx4 0.8KW PP头驱动电机 ●7.5KW下定盘驱动电机 |
| 电源 | 380V/50Hz | 定盘回转数 | ●0~87RPM |
| P.P 回转数 | 0~ 70 RPM | P.P 最大压力 | ●300KG |
| 气源压力 | 0.6MPa | 水源压力 | ●0.8KG |
| 单次加工数量 | 32B ●2"片 单P.P 20片 4P.P 80片 ●4"片 单 P.P 5片 4P.P 20片 36B ●2"片 单P.P 25片 4P.P 100片 ●4"片 单P.P 7片 4P.P 28片 ●6"片 单P.P 3片 4P.P 12片 | 使用环境 | 15~ 35° C ●湿度: 85%以下,污水凝结; ●空气质量:无腐蚀性.无可燃性、有害性气体、无污染物、灰尘等等 |
产品特性
4个P.P盘独立控制可四轴同时加工也可单个P.P独立加工
P.P单头压力可达300Kg(可扩展),压力可在触摸屏中监控和调整
特制低摩擦空压气缸非市售-般气缸, 气缸轴粗壮避免偏摆
定盘带有自动水冷机构，防止加工物和定盘发热,通过恒温冷水的流动实现定盘温度的恒定,并可通过红外温度传感器在触摸屏中监控。
4个P.P盘变频电机强制驱动, P.P转速可调
4个P.P盘可以于两侧分别单独操作,也可以在触摸屏中集中操作
4个P.P盘分别有独立稳压系统
4个P.P盘可以实现“快下降、缓下降、缓上升、快上升”
P.P着盘压力可控,保证无法承受高压力晶片的加工
